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    從氣瓶柜角度具體分析半導體行業(yè)選擇電子特氣柜的原因

    2021-9-29| 來(lái)源: 網(wǎng)絡(luò )整理| 查看: 192

    在半導體制程行業(yè)中,芯片的生產(chǎn)要經(jīng)過(guò)幾百道工序,會(huì )使用到大量的特種氣體。而特種氣體大多易燃易爆、劇毒、腐蝕性的氣體,為了安全輸送和使用這些危險性氣體,半導體廠(chǎng)中會(huì )安裝電子特氣系統,配置電子特氣柜GC、氣體分配箱VMB和特氣泄漏監測報警器等特種設備。

    從氣瓶柜角度具體分析半導體行業(yè)選擇電子特氣柜的原因

    電子特氣柜

    因特種氣體的特殊性,承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體,同時(shí)為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩定供氣和安全,應具備多種功能,如柜內氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動(dòng)吹掃等,提高使用安全系數,有效的保護生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次,半導體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

    SEMI S2的對象是針對半導體制程設備的,是關(guān)于環(huán)境、健康、安全方面的標準,也即為EHS標準,因為半導體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、游離及非游離的輻射,如果處理不好,下游用戶(hù)在使用的時(shí)候就很容易導致事故甚至災難,因此對設備廠(chǎng)商的設備產(chǎn)品如電子特氣柜,擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。

    從氣瓶柜角度具體分析半導體行業(yè)選擇電子特氣柜的原因

    SENI S2認證書(shū)

    由以上描述可知,在半導體制程工藝中,需要“安全”和“穩定”的使用特種氣體,普通的氣瓶柜無(wú)論是在材質(zhì)上還是功能上都無(wú)法滿(mǎn)足要求,所以半導體行業(yè)應配置有SEMI S2認證的電子特氣柜。最后,感謝您的閱讀!



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